PDL Hall 기법을 이용한 박막 IGZO에서의 지속 광전도 및 전자 이동도 분석

인듐갈륨산화아연(IGZO)은 유망한 소재입니다. 박막 트랜지스터(TFT). 얇은 IGZO 층(지속 광전도, PPC라고도 함)에서 빛에 의해 유도된 장기 전도도 변화는 깊이 이해하고 제어해야 하는 중요한 현상입니다. 우리는 병렬 쌍극자 라인(PDL) AC 홀 측정 기술을 사용하여 IGZO 층에서 전하 캐리어의 전도도 및 이동도의 빛 유도 변화와 어둠에서의 완화를 연구했습니다. PDL 시스템에서는 회전 영구 자석이 적용되어 매우 컴팩트한 설계로 고조파 변조를 통해 대규모 자기장에서 AC 홀 측정을 실현합니다. PPC 현상을 조사하기 위해 다양한 층 두께, 구성 및 패시베이션 조건을 갖춘 여러 샘플을 준비했습니다. PPC의 크기와 완화는 IGZO 준비 조건에 매우 강한 의존성을 보여줍니다. 일부 샘플에서는 실온에서 전도도가 10배 이상 증가하는 것이 관찰되었습니다. 완화 시간은 몇 시간에서 며칠까지 다양했습니다. 흥미로운 관찰은 조명의 결과로 전도도에 따라 이동도(1cm²/Vs-8.9cm²/Vs 범위)도 증가한다는 것입니다.