단결정 Cz-실리콘에서 암조건 하 수명 열화 관찰

보론 및 갈륨 도핑된 태양광용 실리콘 벌크 원재료(슬러그, 잉곳 또는 비정형 형상의 소재)를 구분할 수 있는 빠르고 비파괴적이며 비접촉식이고 별도의 시료 준비가 필요 없는 측정 방법을 제시합니다. 본 방법은 고주입 조건에서의 소수 캐리어 수명 측정과 고강도 레이저 처리를 기반으로 합니다. 마이크로파 광전도도 감쇠 기법을 고주입 캐리어 수명 측정 방법으로 적용하였습니다. 적용된 레이저 처리 시퀀스에 의해 유도된 캐리어 수명 변화의 극성을 통해 보론 또는 갈륨 도펀트 종을 구분할 수 있습니다. 모든 보론 도핑 샘플에서는 캐리어 수명이 감소하는 경향을 보였으며, 반면 레이저 처리는 대부분의 갈륨 도핑 시편에서 수명을 증가시켰습니다. 보론 도핑된 실리콘에서의 수명 감소는 보론-산소 LID 결함의 형성에 의해 발생합니다. 갈륨 도핑 샘플에서 관찰되는 수명 증가는 철-억셉터 쌍의 해리에 기인하는 것으로 확인되었습니다. 레이저 처리에 의해 유도된 수명 변화의 동역학을 상세히 분석하였습니다. 광학적 해리에 의한 철-갈륨 쌍의 분리는 철-보론 쌍에 비해 훨씬 느리게 진행되며, 광유도 열화는 예상된 동역학을 보입니다. 키워드: 갈륨 도핑, 광유도 열화, 철-억셉터 쌍, 캐리어 수명