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초박막 접합(USJ) 소스-드레인 구조의 4점 프로브(4PP) 시트 저항(Rs)을 정확하게 측정하기 위한 방법을 제시합니다. 본 방법은 실리콘 표면에 비침투 접촉을 형성하기 위해 탄성 재료 프로브(EM-probe)를 사용합니다. 프로브 설계는 운동학적으로 구성되어 있으며, 프로브 재료의 탄성 변형을 보장하도록 힘이 제어됩니다. 또한, 프로브 재료는 네이티브 산화막을 통한 직접 터널링 전류가 충분히 흐를 수 있도록 선택되어, 낮은 임피던스 접촉을 형성합니다. SIMS 접합 깊이가 약 15 nm에 불과한 USJ 이온 주입 P+/N 구조에 대해 시트 저항을 측정하였습니다. 새로운 EM-probe 4PP 방법으로 얻은 시트 저항 값은 예상과 일치하는 것으로 확인되었습니다. 본 논문에서는 다양한 USJ 이온 주입 구조에 대해 해당 방법을 실증합니다.