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본 논문에서는 이온 주입–어닐링 공정을 함께 특성 분석할 수 있도록 최적화된 접합 광전압(JPV) 방법을 사용하여 얻은 결과를 제시합니다. 해당 장비는 초박막 접합 시트 저항 및 누설 측정에 특히 적합한 것으로 확인되었습니다. 본 연구에서는 또한 기존 장비 설계 대비 향상된 공간 해상도의 이점을 평가하였습니다. 현재 기술 수준의 USJ 모니터 웨이퍼는 BF2 또는 비소 이온 주입 후 스파이크 어닐링을 통해 제작되었으며, 연구개발용 USJ 웨이퍼는 플라즈마 이온 주입 후 레이저 어닐링을 통해 제작되었습니다. 모든 웨이퍼는 비접촉식 JPV 측정 장비를 사용하여 측정되었습니다. JPV 측정 결과는 파괴 분석 기반 오프라인 분석 장비 결과와 상관관계를 보였습니다.