광변조 반사율 측정을 이용한 중저에너지 이온 주입 틸트 각도 모니터링

광변조 반사율 측정(PMR)은 어닐링 이전의 이온 주입 웨이퍼에 대해 이온 주입 도즈 및 틸트 각도 모니터링에 매우 적합한 기술입니다. SEMILAB PMR-3000은 열 어닐링 공정 이전 단계에서 이온 주입을 인라인으로 모니터링하기 위한 장비입니다. 향상된 광학 시스템을 통해 중간 도즈 영역에서 비감도 구간 없이 전체 도즈 범위에 걸쳐 정확한 측정이 가능합니다. 일반적인 도즈 검출 한계는 약 0.5% (1 σ) 미만이며, 틸트 각도 검출 해상도는 0.1° (1 σ)까지 도달할 수 있습니다. 이러한 틸트 각도 감도는 최첨단 공정 제어 요구사항을 충족합니다.