태양광용 다기능 측정 플랫폼

태양광(PV) 분야의 고급 특성 분석은 벌크 결함, 계면, 패시베이션, 열화 현상을 모두 고려해야 하는 복잡한 과정입니다. 이를 위해서는 적절한 측정 기술뿐만 아니라 결함 및 계면 활성도를 변화시키는 처리 공정과의 연계가 필요합니다. 또한 측정은 가능하면 비접촉 방식이며 비용 효율적이어야 합니다. 본 연구의 목적은 실리콘 PV를 대상으로 이러한 다기능 웨이퍼 스케일 특성 분석 기능을 제공하는 것입니다. 본 논문에서는 다기능 측정 플랫폼을 제시합니다. 다음과 같은 응용 사례를 통해 순차적 측정의 중요성을 보여줍니다. 1- PV 웨이퍼 및 태양전지에서의 광 유도 열화 모니터링; 2- 계면 트랩 밀도와 표면 재결합 간의 상관관계 및 표면 장벽의 역할; 3- 전계 효과 기반 이미터 패시베이션 모니터링입니다.