박막 게이트 산화막 신뢰성 모니터링을 위한 새로운 COCOS(코로나 산화막 반도체 특성 분석) 방법

게시 위치: ALTECH 99: analytical techniques for semiconductor materials and process characterization

년도: 1999

저자: M. Wilson, J. Lagowski, A. Savtchouk, L. Jastrebski, J. D'Amico, D.K. DeBusk, A. Buczkowski

COCOSInterface structuresurface treatmentCorona effectVoltage current curvereliabilityOxide layerDefect detectionComparative studyExperimental resultWaveform

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박막 게이트 산화막 신뢰성 모니터링을 위한 새로운 COCOS(코로나 산화막 반도체 특성 분석) 방법