실리콘 웨이퍼에서 소수 캐리어 확산 길이 및 표면 재결합 속도의 고정밀 측정을 위한 새로운 표면 광전압(SPV) 방법

게시 위치: Proceedings of ALTECH 95, vol. 95-30, pp. 73-82

년도: 1995

저자: V. Faifer, P. Edelman, A. Kontkiewicz, J. Lagowski, A. Hoff, V. Dyukov, A. Pravdivtsev, I. Kornienko

surface photovoltageMinority Carrier Diffusion Lengthsurface recombination velocitySilicon (Si)

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