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박막 SOI에서 실리콘 박막 두께를 정확하고 신속하게 산출하기 위한 비접촉 광전 측정 방법이 개발되었습니다. 측정 결과를 설명하는 간단한 모델이 제안되었습니다. 또한 본 방법으로 얻은 측정 결과는 표준 광학 측정 기법으로 얻은 데이터와 우수한 상관관계를 보임이 확인되었습니다.
