금속–절연체–금속 커패시터 제조 중 전하 축적 저감을 위한 비접촉 표면 전위 측정

게시 위치: Microelectronics Reliability 41 2001) 1403

년도: 2001

저자: J. Ackaert, Z. Wang, E. De Backer, P. Colson, P. Coppens

charging induced damage (CID)metal-insulator-metal-capacitor (MIMC)

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