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BST/Pt 시료에 대해 비접촉 두께 및 전기적 측정을 수행하였습니다. Pt 전극 상부의 BST 두께를 높은 신뢰도로 측정한 것은 본 연구가 처음인 것으로 판단됩니다. 두께 측정은 피코초 초음파 기법을 이용하여 수행되었으며, 일부 지점에서는 투과전자현미경(TEM) 결과와 상관관계를 확인할 수 있었습니다. 이와 같은 파괴적 방법과 달리, 피코초 초음파 기법은 빠른 측정을 가능하게 하였으며 49개 지점의 컨투어 맵을 통해 박막 균일도를 평가하고 동시에 Pt 두께를 산출할 수 있었습니다. 전기적 측정은 COCOS 기반(코로나 산화막 반도체 특성 분석) 기술을 적용한 정전용량 프로브를 이용하여 수행되었습니다. 전기적 측정 결과를 통해 유전율을 산출할 수 있었습니다.