VISZ 비가시 결함 모니터링: 표면 광전압 매핑을 이용한 방법

게시 위치: ECS Transactions

년도: 2016

저자: Andrew David Findlay, Dmitriy Marinskiy, Piotr Edelman, Marshall Wilson, Alexandre Savtchouk, Carlos Almeida, Jacek Lagowski

Non-Contact Measurementsilicon carbide (SiC)surface voltagewafer mappingnon-visual defects

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