실리콘 PV 패시베이션 검사를 위한 인라인 PL 이미징의 새로운 접근 방식

우리는 최근에 도입한 단일 PL 이미지 개념에 기반한 인라인 표면 패시베이션 검사를 위한 새로운 매우 효과적인 접근 방식의 진행 상황을 보고합니다. 본 새로운 inlinePL 기법의 세부 사항을 소개하고, 첨단 태양전지 제조 공정에서 공정 검사 도구로서의 적용 가능성을 입증합니다. 방법론 예시는 이종접합 구조를 사용하여 제시되며, 특히 고효율 셀에 유망한 구조를 중심으로 설명됩니다. QSS-μPCD 기법을 이용한 직접 파라미터 보정을 통해 원시 PL 이미지 자체가 패시베이션 결함의 고해상도 시각화에 적합하다는 점을 넘어, PL 이미지는 이미터 포화 전류(J0e) 및 유효 개방전압 이미지로 변환될 수 있음을 보여줍니다. 인라인 PL 이미징 기법의 정확도는 원시 PL 카운트 이미지를 기존에 널리 사용되는 이차원 카메라 기반 정지형 PL 이미징 기법과 비교하고, 계산된 인라인 PL 기반 J0e 및 유효 개방전압 이미지를 준정상 상태 광 바이어스 차분 수명 기반 QSS-μPCD 기법으로 산출된 J0e 및 유효 개방전압 이미지와 비교하여 평가합니다. 두 비교 시험 모두 적용된 기법 간 우수한 일치를 보여주며, 이는 인라인 PL 이미징 기법의 실용적 장점뿐만 아니라 정확성까지 확인해줍니다.