실리콘 기판에서 슬립 라인 검출 및 특성 분석을 위한 광발광 이미징

인라인 검사는 현대 반도체 공정에서 매우 중요합니다. 본 세션에서는 다양한 적용 사례에 대해 수율 향상을 위한 결함 검사 및 리뷰를 다룹니다. DI2에서는 공정 특성화 및 결함 분류를 위한 새로운 응용 및 방법론을 소개합니다.

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