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PMR(광변조 반사율 측정)은 어닐링 이전의 이온 주입된 생산 웨이퍼의 주입 선량 및 틸트 각 모니터링을 위한 탁월한 기술입니다. SEMILAB PMR-3000은 열 어닐링 공정 단계 이전에 이온 주입 모니터링에 사용되는 인라인 모니터링 장치입니다. 향상된 광학 시스템은 중간 선량 범위에서 둔감한 영역 없이 전체 선량 범위에 대한 측정을 보장합니다. 일반적인 선량 검출 한계는 <0.5%(1시그마)입니다. 경사각 감지 분해능은 <0.1°(1시그마)입니다. 기울기 각도에 대한 이러한 민감도는 최첨단 공정 제어 요구 사항을 충족합니다.