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누설이 큰 게이트 스택은 병렬 RC 등가 회로로 모델링됩니다. ♦ 정전용량을 분해하기 위해 더 높은 주파수를 사용하면 정전용량 임피던스가 감소하여 해당 요소가 병렬 저항/컨덕턴스에 비해 지배적으로 됩니다. ♦ 그러나 이는 테스트 구조에서 기생 직렬 저항이 무시할 수 있을 만큼 작을 때만 유효합니다. 직렬 저항이 존재하는 경우 더 높은 주파수를 사용하면 관심 대상인 정전용량 임피던스가 Rs에 비해 오히려 무시될 정도로 작아집니다.