반사 모드 주사 적외선 현미경(SIRM) 및 실리콘 결함 검출에 대한 응용(주사 적외선 현미경과 실리콘에서의 응용)

게시 위치: DRIP IX Conference Sept. 2001), Poster Sessions, P1-B: Defects in Silicon, P1-14

년도: 2001