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광발광 이미징 기반 기법이 소개되며, 이를 통해 다양한 재료 파라미터 범위에서 단일 PL 이미지만으로 웨이퍼의 이미터 포화 전류 이미지를 측정할 수 있습니다. QSS-μPCD 기법은 직접적인 J0e 보정을 위한 독립적인 기준값을 획득하는 데 사용됩니다. 확장된 J0e 및 벌크 수명 범위에서 정확한 결과를 얻기 위해서는 벌크 수명의 추정이 매우 유용한 것으로 나타났습니다. QSS-μPCD Basore-Hansen 플롯으로부터 이 벌크 수명 값을 신뢰성 있게 추정할 수 있음을 보였습니다. 계산된 수명 관련 보정값은 실험 결과와 비교되었으며 우수한 일치를 나타냈습니다. 산업용 인라인 적용 가능성을 고려하여 1D 카메라 기반 PL 시스템에서의 결과도 제시되었습니다.