다양한 반도체 재료에 걸친 광전도도 감쇠 측정을 위한 범용 시스템

시간 분해 광전도도는 다양한 반도체에서 비평형 전하 캐리어 수명, 불순물 함량, 태양전지 효율을 특성화하는 데 널리 사용됩니다. 대부분의 측정은 단일 주파수와 단일 광 여기 파장에서의 전자기 복사 반사 검출로 제한됩니다. 본 연구에서는 광대역 주파수 검출(실질적으로 DC부터 20 GHz까지), 온도 의존 측정, 그리고 다양한 여기 광자 에너지를 지원하는 시간 분해 광전도도 측정 장치를 제시합니다. 이 측정은 효율적인 안테나로 작용하는 코플래너 도파관을 이용하여 구현되며, 해당 성능은 10 MHz에서 10 GHz 범위에서 검증되었습니다. 본 장치는 표면 및 벌크 전하 재결합과 관련된 개별 공정을 연구할 수 있게 합니다.

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