用於線上品質控制的發射極片電阻率測量的比較研究

隨著最新晶體矽太陽能電池生產線的自動化程度和產量不斷提高，直接納入相應製程設備的品質控制 (QC) 越來越受到人們的關注。 磷擴散步驟的主要品質控制參數是發射極薄層電阻，通常根據手動抽取的樣本進行測量。 相較之下，我們的目標是開發和測試可以直接納入大容量擴散設備的測量方法。 我們研究了兩種非接觸式方法：渦流技術和新開發的基於 SPV（表面光電壓）探測的系統。 使用四點探針 FPP 作為參考測量技術。 結果可以清楚地表明，新的 30 MW 電池系中已包含的新型 SPV 方法可達到與離線 FPP 相同的精度，而渦流技術則無法應用。

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