用於超高純矽片的數位 SPV 擴散長度計量 (E8-Fe)

發表於: Electrical Chemical Society Fall Conference, 2008

年: 2008

作者: M. Wilson, A. Savtchouk, I. Tarasov, J. D’Amico, P. Edelman, N. Kochey, J. Lagowski

Minority Carrier Diffusion Lengthsurface photovoltageiron detection in silicon wafers

我們討論了新一代 SPV 少數載子擴散長度計量，其精度提高了 10 倍，能夠在 E8 原子/cm3 範圍內檢測矽晶片中的鐵，並提取真實的穩態擴散長度 L0。這項改進歸功於重新設計的硬體和 SPV 測量過程的全數位控制。此數位 SPV 採用了一種新穎的多頻方法，可優化 Fe 檢測和 L0 萃取。後者由 SPV 工具中整合的晶圓背面複合速度測量提供支援。

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