透過磷離子注入和退火去除無意污染的矽片

在本文中，我們提出了非國際污染的吸雜的研究。 磷離子注入層用作吸氣劑。 SPV-和μ-PCD-測量結果顯示吸雜效率與離子注入劑量相關。 5e15 cm^-2的劑量足以有效吸收。