透過校正晶圓邊緣和補償結洩漏，改進結光電壓測量的薄層電阻的高解析度映射

發表於: 6-9 May 2007 at INSIGHT 2007 Conference, Napa Valley, USA

年: 2007

作者: E. Don, C. Kohn, A. Pap, P. Tüttő, T. Pavelka, C. Laviron, C. Wyon, R. Oechsner, M. Pfeffer

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