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需要高度靈敏、準確和精密的方法來測量亞 0.13 μm 技術中使用的電介質的特性。 監測柵極電介質的電氣性能尤其重要。 使用新型、無污染、無損壞的彈性探針評估薄電介質的電氣性能。 此探針在電介質表面形成小直徑（∼30 μm 至 50 μm）彈性金屬門（EM-gate）。 隨後的電氣測量採用先進的電容電壓 (CV)、電導電壓 (GV) 和電流電壓 (IV) 技術進行。 獲得有關電介質厚度和質量、漏電流、Si-SiO2 界面質量和通道載子密度分佈的寶貴且重要的資訊。