表面處理與清潔對高效能光電電池硼擴散矽表面鈍化的影響

在沉積鈍化層之前，對矽晶圓使用適當的表面處理和清潔方法對高複合物（20%使用適當的表面處理和清潔方法（20%）對於晶體矽href="https://www.sciencedirect.com/topics/earth-and-planetary-sciences/photovoltaic-cells" id="">光伏電池。在這項工作中，研究了晶圓清洗對硼摻雜發射器可實現的表面鈍化品質的影響，包括使用 HCl、HF、HNO₃ 和臭氧去離子水 (DIO₃)。這些不同的表面處理和清潔順序是在未擴散和硼擴散的n型Cz 矽晶片上進行的，然後沉積x) 或覆蓋有 SiN_x 的氧化鋁薄膜（Al₂O_Sisub3O鈍化材料，對對稱硼擴散樣品進行了與註入水平相關的光電導測量和校準的缺陷密度在Siface" id="">Siface/engine我們發現，清潔變化對 SiN_x 鈍化 Si 的載子壽命有很大影響，但對於 Al₂O₃/SiN_x 堆疊，影響較不明顯。 進一步觀察到，DIO₃-last 處理導致 SiN_x 堆疊的壽命更長。 整體而言，對於光伏產業來說，（DIO₃ + HF + HCl → HF → DIO₃）清潔成本可能是一種有前途的清潔成本。