注入級光譜：一種新型的非接觸式矽污染分析技術

微波光電導衰減是根據激發光強度的函數來測量的。 提出了一種利用新方法分析複合壽命數據的實驗方法，該方法能夠產生矽晶片中不同金屬污染物的定性橫向分佈圖。