大面積薄膜光電材料的綜合電學和光學表徵

在薄膜光伏製造中，許多不同的技術現已在工業規模上使用：矽基薄膜、CIS/CIGS 基薄膜、CdTe 基薄膜以及其他更奇特的材料和結構。 在研究和生產控制過程中，都需要合適的表徵方法，可以直接應用於生產中的面板。 在本文中，我們提出了一系列適合此類薄膜特性的先進電氣和光學計量技術。 這些測量利用許多非接觸式、非破壞性探針來確定材料特性，並且可以在單一靈活平台中進行配置，以處理薄膜生產中使用的大面積基板。 我們還展示了在光譜分辨霧度和透射率測量方面取得的重大改進，其中改進是創建了具有合適積分球的光學裝置，無需在實際樣品鑑定之前通常需要測量參考樣品即可進行這些測量，從而保持了積分球的優點，但減少了通常的測量時間。