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少數載子擴散長度測量的終極表面光電壓方法稱為終極 SPV，以整組波長同時照明取代了連續的「一次一個波長」方法。 在這種多波長光束中，每個單色分量以稍微不同的頻率被斬波。 這使得能夠使用多頻率訊號處理同時監控與不同波長相對應的所有分量 SPV 訊號。 然後分析每個分量訊號的振幅和相位，並用於計算擴散長度和表面壽命。 飛行中終極 SPV 測量（即晶圓在 SPV 探針下連續移動）用於快速整個晶圓測繪。 除了速度優勢之外，Ultimate SPV 還具有基本的精度優勢，因為消除了單一波長順序照明期間晶圓狀況的差異。 高速測量使得添加額外的晶圓處理並執行分離矽塊中的鐵和銅所需的多重映射成為可能。 使用 Ultimate SPV 在 2 分鐘內實現晶圓映射對於監測矽中的鈷至關重要。