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歐洲在微米和奈米技術的計量、分析和表徵領域提供卓越的專業知識。 這種專業知識是透過研究機構、學術界、中小企業和工業界提供的。 歐洲開發協同效應、增強現有技術和開發創新方法的方法透過名為奈米技術分析網路（ANNA）和奈米電子技術半導體設備評估（SEA-NET）的兩個專案展示。 ANNA 是一項基礎設施倡議，專注於獨立營運實驗室的整合。 這個多地點實驗室形成了一個由分析工作科學家和現有機構組成的協作、協同網絡。 SEA-NET 的目標是驗證新興半導體製造設備，包括滿足下一代技術節點先進製程要求的計量工具。 原型設備評估是由工具供應商與整合設備製造商和研究機構合作完成的。 介紹了非接觸電阻率測量、X 射線計量平台和基於 IMS 技術的氣體檢測系統的結果。