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微光致發光成像用於確定熱步驟對與深溝槽隔離相關的位錯密度的影響。 先前的工作表明，由於與深溝槽位錯相關的滑移而導致柵極氧化物失效。 微光致發光成像能夠觀察深溝槽隔離 (DTI) 晶圓加工過程中熱致應力引起的位錯產生。
