透過光調製反射率測量進行中低能量注入傾斜角監測

光調製反射率測量 (PMR) 是一項出色的技術，用於監測注入的預退火生產晶圓的離子注入劑量和傾斜角。 SEMILAB PMR-3000 是用於在熱退火製程步驟之前在線監測離子注入的裝置。 增強的光學系統可確保在整個劑量範圍內進行精確測量，而不會在中間劑量範圍內產生不敏感區域。 典型的劑量可檢測性為＜0.5％(1σ)。 傾斜角度檢測解析度可達0.1°（1σ）。 這種對傾斜角度的敏感度滿足了最先進的製程控制要求。