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檢查基於表面電壓的非視覺缺陷檢測的測量速度和解析度。 在需要較大測量探針的全晶圓檢測的高測量速度和需要較小測量探針的方法分辨率之間存在權衡。 在本文中，我們透過使用不同直徑的開爾文探針克服了這種權衡。 使用直徑 2mm 的開爾文探針進行全晶圓檢測，可實現高吞吐量。 只有當偵測到可疑故障時，才會使用直徑 10 μm 的開爾文探針對局部較小區域進行檢查。
