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由於商業設備的可用性及其非接觸性質，表面光電壓 (SPV) 測量已成為重要的半導體表徵工具。 在本研究中，我們討論了 SPV 技術在離子注入機控制和監測中的應用，特別是用於量化和限定 p 型 CZ 矽中離子注入引起的晶格損傷和電激活摻雜劑。 對於注入矽，測量的 SPV 響應包括注入引起的缺陷密度並提供光載流子壽命；對於退火晶圓，SPV 測量激活摻雜劑的表面耗盡層電荷。 使用電暈充電技術並微調偵測光的波長和強度，使 SPV 能夠成功應用於各種植入條件。 在本研究中，QC Solutions ICT-300reg 系統（基於 ac-SPV 技術）用於 18 個晶圓廠注入機的監控和製程控制。 每天監控七種生產配方，使製程控制的管理精度控制在 2% 以內。 簡要討論了小訊號交流表面光電壓的理論和技術原理。 詳細解釋了該方法及其如何應用於植入機監控。 ICT-300 系統在整個研究過程中用於測量樣本並收集提供的數據。 報告的受控製程與關鍵注入步驟相關，包括閾值調整電壓、P 阱和 Halo 注入。 詳細討論了閾值調整電壓注入特性以及測量過程的所有相關方面。