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我們對 BST/Pt 樣品進行了非接觸式厚度和電氣測量。 我們相信這是第一次以高置信度測量 Pt 電極頂部的 BST 厚度。 厚度測量是使用皮秒超音波進行的，並且可以在某些點與 TEM 相關。 然而，與這種破壞性方法相比，皮秒超音波可以快速測量，透過 49 點輪廓圖確定薄膜均勻性，並同時計算 Pt 厚度。 電氣測量是使用基於 COCOS（半導體電暈氧化物表徵）技術的電容探頭進行的。 透過電氣測量，我們能夠計算出介電常數。