用於監測植入傾斜角度的光調製反射測量技術

發表於: 2018 22nd International Conference on Ion Implantation Technology (IIT)

年: 2018

作者: Á Kun, J Szívós, E Kis, L.M. Rubin, T. Szarvas, A. Pongrácz, O. Almási, J. Byrnes, Gy. Nádudvari, Sz. Spindler, R. Piros, F. Ujhelyi

photomodulated reflectance

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光調製反射率測量 (PMR) 是一種用於對注入的預退火生產晶圓進行注入劑量和傾斜監測的出色技術。 SEMILAB PMR-3000 是一款線上監控裝置，用於在熱退火製程步驟之前監控離子注入。增強的光學系統確保在整個劑量範圍內進行測量，在中間劑量範圍內沒有不敏感區域。典型的劑量可檢測性是＜0.5％(1sigma)。傾斜角檢測的分辨率<0.1°(1sigma)。這種對傾斜角度的敏感度滿足了最先進的製程控制要求。

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