反射式掃描紅外線顯微鏡（SIRM）及其在矽缺陷檢測中的應用（掃描紅外線顯微鏡及其在矽中的應用）

發表於: DRIP IX Conference Sept. 2001), Poster Sessions, P1-B: Defects in Silicon, P1-14

年: 2001