使用 QSS-μPCD 方法直接校準的基於光致發光的發射極飽和電流成像的單一影像概念

引入了基於光致發光成像的技術，該技術能夠在擴展的材料參數範圍內僅使用單一 PL 影像來測量晶圓的發射極飽和電流影像。 QSS-μPCD 技術用於記錄直接 J_0e 校準的獨立參考值。 結果表明，為了在擴展的 J_0e 和整體壽命範圍內獲得準確結果，整體壽命的估計非常有用。 結果表明，從 QSS-μPCD Basore-Hansen 圖可以可靠地估計該總體壽命值。 將計算出的壽命相關校正與實驗結果進行比較，顯示出良好的一致性。 作為潛在的工業在線應用，介紹了基於 PL 設置的一維相機的結果。