矽光伏的統一壽命計量和光致發光成像

我們最近推出了一種改進的 QSS-μPCD 壽命測量方法，具有嚴格的衰變品質控制技術。 這使得能夠在廣泛的穩態注入範圍（高達約 30suns）內統一、無參數地確定衰變壽命和穩態壽命。 發現與 Sinton QSSPC 測量具有極佳的相關性。 空間分辨μPCD 的優勢被應用於晶圓測繪。 射極飽和電流，J0，使用 Basore-Hansen 程式直接從小擾動衰減壽命中獲得映射。 這些圖表揭示了常見的鈍化缺陷，表現為高 J0 區域。在這項工作中，我們報告了該方法的進一步改進，特別是在速度和分辨率方面。 我們的研究涉及按順序對鈍化測試晶圓進行光致發光測量，並使用 QSS-μPCD 統一壽命測量（包括 J0）。 在選定的地點，J0 的值有意隨電暈電荷感應場效應而變化。 這使得能夠對 J0 和其他重組參數進行獨特的 PL 校準。 定量特徵使我們能夠比較確定 J0 的 PL 程序，並選擇一個實用的 J0 成像版本，該版本使用從生成速率 G 與 PL 強度的比率直接確定 J0。 我們發現這個 J0 過程與常用的 Kane-Swanson 方法有很好的相關性。 此外，它還具有僅需要單一 PL 影像的實際優勢，具有簡單的校準和對注射範圍限制的寬鬆要求。