不同烘烤阶段 SU-8 涂层晶圆的纳米压痕分析
作者: Tamás Tarjányi, Gábor Gulyás, Krisztián Bali, Márton Sámi, Rebeka Anna Kiss, Barbara Beiler, Péter Fürjes, Tibor Szabó
主题: nanoindentation; hardness; creep; wafer; SU-8; epoxy

纳米压痕技术是获取微小体积材料定量性能的关键。IND-1000 是一款先进的纳米压痕系统,专为微纳尺度下力学性能的精准测量而设计,涵盖弹性模量、硬度、断裂韧性以及粘弹性行为等指标。
该技术基于 Fisher-Cripps 实验室成功的纳米压痕系统开发,确保了从半导体、硬质薄膜、多相金属及陶瓷到聚合物和生物材料等各类样品的测量结果均具有稳健性和可重现性。
IND-1000 纳米压痕系统
作者: Tamás Tarjányi, Gábor Gulyás, Krisztián Bali, Márton Sámi, Rebeka Anna Kiss, Barbara Beiler, Péter Fürjes, Tibor Szabó
主题: nanoindentation; hardness; creep; wafer; SU-8; epoxy
作者: P. M. Nagy, P. Horvath, G. Peto, E. Kalman
主题: Atomic Force Microscope (AFM); Ion Implantation; nanoindentation; Phase Transformation of Si; Pile-Up; Pop-In; Surface Modification
作者: DR. JAKAB ANDRÁS, DR. VÁNKAY KATA LILLA, DR. TARJÁNYI TAMÁS, GULYÁS GÁBOR, BALI KRISZTIÁN DÉZSI PÁL PATRIK, SÁMI MÁRTON DR. FRÁTER MÁRK
主题: nanoindentation
IND-1000 纳米压痕系统