microPL, JPV, photo-modulated reflectance2023
离子沟道和共注入对 Si 中离子范围和损伤的影响：使用 PL、SRP、SIMS 和 MC 模型的研究
作者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
主题: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
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SRP-2100 系列是 Semilab 针对半导体晶圆高精度扩展电阻法剖面分析 (SRP) 及掺杂浓度分析的旗舰级解决方案。该系列适用于硅及化合物半导体（需选配 PCIV 选件），能够提供全自动、精确的深度剖面分析，广泛用于工艺监测、失效分析及器件表征。
SRP-2100 / SRP-2100i 扩展电阻分析仪
作者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
主题: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
作者: E. E. Najbauer, L. Sinkó, Sz. Biró, Z. Durkó, P. Basa
主题: carrier density; epitaxial layer; semiconductor; Silicon (Si); SRP-2100; SRP; FTIR REFLECTOMETRY
SRP-2100 / SRP-2100i 扩展电阻分析仪
