突破性仪器和产品：在一台仪器中通过椭圆偏振光谱法研究原子层沉积的 Al:ZnO 层（从深紫外到中红外）

Semilab SE-2000 光谱椭圆偏振仪是一款多功能薄膜表征仪器，能够在几秒钟内进行光谱椭圆偏振测量，覆盖从紫外到近红外的大光谱范围，并在几分钟内覆盖中红外。 它适用于表征从单层到复杂的多层层压板和散装材料的薄膜。 本文通过对不同基底和不同层结构上的 Al 掺杂 ZnO 层进行宽光谱范围研究，展示了 SE-2000 系统的独特功能。 尽管存在其他导电层，但使用符合德鲁德色散定律的数据，确定了 Al:ZnO 的电性能。 结果通过玻璃基板上沉积的单个 Al:ZnO 层的四点探针测量得到证实。