使用升级的激光 E-PCD 技术测量单晶硅锭的载流子寿命

光电导衰减（PCD）方法是硅锭载流子寿命表征的标准表征技术。 我们分析了使用单色光的涡流PCD技术的精度，重点关注激光激发特性的影响。PCD测量模拟表明，表面复合对测量寿命和注入水平的影响很大程度上受激光激发源的波长和脉冲持续时间的影响。 还考虑到载流子分布随时间的演变，已找到 1050 至 1070 nm 之间的最佳波长范围。 使用原始 980 nm 激光和相当优化的 1064 nm 激光进行涡流检测 PCD (e-PCD) 测量，通过实验和模拟进行了详细比较。 在与注入无关的寿命模型中，有效寿命在合理的时间内渐近地接近体寿命，并且两个激光源都提供了实验证实的准确结果。 然而，如果载流子寿命随注入水平显着变化，则可以观察到使用不同激光器记录的渐近寿命之间的显着差异。 即使在这种情况下，较长波长设置的寿命值也接近整体寿命的饱和值。 这是使用较长波长激光进行铸锭 PCD 测量的另一个重要优势。将激光 e-PCD 结果与基于闪光灯的 PCD 系统进行比较，发现在长寿命范围内具有良好的相关性。 然而，闪光灯 PCD 系统的瞬态模式和准稳态 (QSS) 模式之间发现的显着差异表明，执行测量