不同激光源制备的激光织构硅表面的比较

采用不同波长、脉冲长度和强度的四种不同激光器进行激光烧蚀，产生激光纹理化的“黑色”硅表面。 目的是比较由不同激光器构造的样品的光学特性，从而找到最佳配置并研究其在光伏应用中的可行性。在第一阶段，通过扫描电子显微镜研究四种配置产生的显着不同的表面形态的演变以及所得表面反射率的表征。 讨论了与激光烧蚀过程相关的基本物理机制，解释了所得结构的形状。 根据形态和反射率变化的趋势，确定了产生足够抗反射性能的最小激光照射次数。 通过亚皮秒准分子激光器的约十分之一的脉冲，在可见光和近红外光谱范围内实现了约 2% 的总反射率。