在薄膜光伏制造中,许多不同的技术现已在工业规模上使用:硅基薄膜、CIS/CIGS 基薄膜、CdTe 基薄膜以及其他更奇特的材料和结构。 在研究和生产控制过程中,都需要合适的表征方法,可以直接应用于生产中的面板。 在本文中,我们提出了一系列适合此类薄膜表征的先进电气和光学计量技术。 这些测量利用许多非接触式、非破坏性探针来确定材料特性,并且可以在单个灵活平台中进行配置,以处理薄膜生产中使用的大面积基板。 我们还展示了在光谱分辨雾度和透射率测量方面取得的重大改进,其中改进是创建了具有合适积分球的光学装置,无需在实际样品鉴定之前通常需要测量参考样品即可进行这些测量,从而保持了积分球的优点,但减少了通常的测量时间。