通过红外相机绘制硅片的寿命图

作者提出了一种快速、无接触的方法，以高空间分辨率绘制硅太阳能电池晶圆的有效少数载流子寿命 /spl tau//sub eff/。 红外热像仪测量光激发自由载流子引起的红外光吸收。 单个相机测量产生了过量少数载流子的面密度图，作者将其转换为有效少数载流子寿命 /spl tau//sub eff/ 的图。 红外测量结果与现有技术的结果一致，例如微波检测光电导衰减和准稳态光电导寿命测量。 新颖的红外寿命映射技术对于在线过程控制来说足够快。

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