NIST 可追踪小信号表面光电压参考晶圆

小信号表面光电压 (SPV) 测量已成为广泛接受的测量外延和直拉晶片电阻率的计量方法。 对于这种计量技术，目前没有美国国家标准与技术研究院 (NIST) 定义的标准参考材料 (SRM®)。 本文将介绍一种通过进一步处理 NIST 100 毫米直径硅电阻率 SRM 2543 晶圆来创建 SPV 测量 NIST 可追溯标准的方法。