用于表征功率器件的分析工具
作者: H-J. Schulze, A. Frohnmeyer, F-J. Niedernostheide, B. Simmnacher, B.O. Kolbesen, P. Tüttő, T. Pavelka, G. Wachutka
主题: transition metals; contamination; carrier lifetime; silicon defect density
DLS-1100 是一款专为半导体研发与生产环境设计的高端 DLTS 系统。该系统配备了用于精确控温的外部恒温器,具备顶级的探测灵敏度、全自动化功能以及先进的定制化选项,是生产型实验室、代工厂以及高吞吐量研究机构的理想选择。
DLS-1100 深能级瞬态谱系统
作者: H-J. Schulze, A. Frohnmeyer, F-J. Niedernostheide, B. Simmnacher, B.O. Kolbesen, P. Tüttő, T. Pavelka, G. Wachutka
主题: transition metals; contamination; carrier lifetime; silicon defect density
作者: L. Quattropani, K. Solt, P. Niedermann, I. Maggio-Aprile, O. Fischer, T. Pavelka
主题: Schottky diode; RF plasma treated silicon
作者: C.A. Londos, T. Pavelka
主题: DLTS; GaAs
作者: D.A. Ramappa, W.B. Henley
主题: diffusion; iron; silicon dioxide
作者: Homogeneous Transparent Conductive ZnO:Ga by ALD for Large LED Wafers
主题: GZO; Atomic layer deposition; TCO; Rapid thermal annealing; LED
作者: T. Pavelka and G. Ferenczi
主题: Thermal emission; deep trap
作者: B. Sandhu, T. Ogikubo, H. Goto, V. Csapó, T. Pavelka
主题: DLTS; SIRM; Silicon (Si); Mo; Fe; deep levels; carrier lifetime
作者: A. Bertuch, K. Steeples
主题: NIST traceable; surface photovoltage; standard; reference wafer; Electric measurements; Electrical resistivity; Metrology; Epitaxy; Silicon (Si)
作者: Zsolt Kovács, Csanád Ö. Boros, Teodóra N. Kovács, Zsolt Kovács, ZoltánT. Kiss
主题: optical inspection; Silicon (Si); POLARIZED INFRARED IMAGING; VISUAL INSPECTION
作者: T. Pavelka and B. Hemm
主题: Microwave Absorption Spectroscopy
作者: O. Engström, M.Kaniewska, W.Jung, M.Kaczmarczyk
主题: Deep level transient spectroscopy; quantum dots; tunneling; conduction bands; electric field