硅外延层复合和一代寿命表征

我们对 p/sup +/ 和 p 衬底上的硅 p 外延层进行了复合和生成寿命测量。 对于只有几微米厚的层，复合寿命主要由表面/界面复合决定。 通过将 p/p 的测量值与 p/p/sup +/ 样品的测量值耦合，可以提取外延层的寿命。 对于 p/p/sup +/ 样品，复合寿命不太适合表征外延层。 生成寿命测量非常适合外延层表征，因为载流子生成发生在仅限于外延层的空间电荷区域中，并且当与电晕电荷/开尔文探针结合使用时，可以进行非接触式测量。

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