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研究了一种通过醌氢醌/乙醇处理对硅基材进行表面钝化的新技术。 为了估计表面钝化效应,使用微波光电导衰减方法测量了硅基板的寿命。 测量的寿命取决于醌氢醌浓度和钝化时间。 0.01 mol/dm3醌氢醌/乙醇处理表现出良好的钝化效果,并获得了非常低的表面复合速度。 醌氢醌/乙醇处理是比碘/乙醇处理更有效的钝化技术。 因此,醌氢醌/乙醇钝化可广泛用于寿命测量。