Materials Science and Engineering, B41989
半導体における深い準位の分散型マイクロ波過渡分光法
著者: D. Huber, P. Eichinger, G. Ferenczi, T. Pavelka, G. Veszely
トピック: Microwave transient spectroscopy; deep levels; semiconductor
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COREMA-2000シリーズは、SiC、GaN、GaAs、CdTe、GaO、InPなどの半絶縁性化合物半導体を主な対象とした、高精度・非破壊・非接触の抵抗率測定ソリューションを提供します。高い精度と再現性により、研究および産業用半導体製造環境の両方をサポートします。
COREMA-2000 非接触抵抗率マッピング